| 一、設(shè)備介紹
本實驗系統(tǒng)用于研究包括絕緣體在內(nèi)的固體材料表面結(jié)構(gòu)的分析儀器。它通過檢測待測樣品表面和一個微型力敏感元件之間的極微弱的原子間相互作用力來研究物質(zhì)的表面結(jié)構(gòu)及性質(zhì)。
二、技術(shù)指標
1、高分辨掃描器:XY方向掃描范圍≥90 m,Z方向掃描范圍≥10 m
2、光學系統(tǒng):彩色CCD像素≥500萬,放大倍數(shù):285 ~ 1285 倍放大
3、包含三個全數(shù)字鎖相放大器,控制器反饋響應(yīng)時間≤2 s,數(shù)據(jù)采樣速率≥50MHz
4、馬達控制全自動樣品臺:直徑≥200mm,樣品高度≥10mm
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